高純氣體管道氦氣檢漏方法
1、高純大宗氣體管道氦檢漏常用方法采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。
2、內(nèi)向檢漏法（噴氦法）應(yīng)采用在高純氣體管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法進(jìn)行檢漏。
3、閥座檢漏法應(yīng)采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏。
4、外向檢漏法（吸槍法）應(yīng)采用在高純氣體管道內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部用吸槍檢查可能泄漏點(diǎn)的方法檢漏。
5、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，其檢測(cè)精度不得低于1
6、高純氣體氦檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求：
6. 1、內(nèi)向檢漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s；
6.2、閥座檢漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s；
6. 3、外向檢漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s
7、氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新進(jìn)行氣密性試驗(yàn)并合格，然后應(yīng)按規(guī)定再時(shí)行氦檢漏。
8、所有可能泄漏的點(diǎn)應(yīng)用塑料袋隔離。
9、系統(tǒng)測(cè)試完畢，應(yīng)充入高純氮?dú)饣驓鍤猓?yīng)進(jìn)行吹掃。
10、測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。
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