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砷烷AsH3合成方法及研究

2012-3-5 16:33:55

砷烷是GaAs、GaAsP生長、N型硅外延、擴散、離子注入摻雜等不可缺少的基礎材料，因其劇毒、純度要求高，合成、凈化難度大等因素，目前能制造AsH3的國家為數不多，同時由于局毒性，在當今的國際大背景下，AsH₃的進口十分麻煩。

AsH3的合成方法非常經典，也是目前較為普遍的工藝。制備分兩步：原料的合成采用混合的Zn粉及As粉在600~620攝氏度下高溫合成，其反應：Zn+As→Zn₃As₂;另一步是用Zn₃As₂同稀硫酸作用，Zn₃As₂+H₂SO₄→AsH₃+ZnSO₄,產品的收率為80%以上。生成的AsH₃雜質的含量取決于Zn₃As₂的純度，通過系列的提純單元，AsH₃純度大于99.9995%以上。

國外有學者研究出新的無機氫化物的合成方法，只是沒有形成規模化。該工藝的優點是可以生產系列有價值的氫化物：

PCl₃+LiH→PH3

AsCl₃+LiH→AsH3

SbCl₃+LiH→SbH₃

相信這種新技術或許會對一些烷類氣體合成的突破起到重大的作用。

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